Optional Versions ?

Default

.NM

.HV

.UHV

.NM,  Absolutely non-magnetic version；

.HV,   High vacuum version;

.UHV, Ultra high vacuum version；

1         Bottom size*height

65 × 65 mm × 12 mm

2         Main Material

Stainless Steel

Pure Ti

Stainless Steel

Stainless Steel

3         Cables & Connectors

Standard shielded cable

D-Sub 9 Connector

Kapton enameled Wire，

PEEK-2mm Pin

Motion parameters - space recommended mounting form I. (The following properties are measured in the recommended installation form)

4         Travel

30 mm

5         MAX. Velocity

~ 20 mm/s

6         Min. Step

< 10 nm

7         Drive Frequency

Max. 20 kHz （Super quiet movement）

Maximum horizontal

8         force

2 N

9         Holding Force

5 N

10        Full-travel pitch/yaw

0.3 mrad / 0.2 mrad

Motion parameters - space recommended installation form II. (The following properties are measured in the recommended installation form)

11        Maximum vertical load

2 N

12        Holding Force

5 N

Sensing accuracy

13        Position Sensing Type

- Resistance type sensing ( .R )

- Optical scale sensing ( .O )

14        Position sensing range

30 mm

15        Position sensing resolution

- Resistance type sensing ( .R ), 100-200 nm

- Optical scale sensing ( .O ), 10 nm ( default )，1nm ( option )