LS25x.Lab.R
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型號 |
LS25x.Lab.R |
LS35x.Lab.o/R |
LS65x.Lab.O/R |
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底面尺寸×高度（mm） |
25×25×10 |
35×35×12 |
65×65×13 |
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主體材質(zhì) |
默認不銹鋼（可選鋁合金、純鈦版） |
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自重（g） |
40g |
102g（.R）200g(.O) |
200g(.O) |
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運動行程（mm） |
8 |
20 |
30 |
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最大速度（mm/s） |
-20 |
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最小步伐（nm） |
~15 |
~10 |
~10 |
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重復定位精度（nm） |
/ |
300 |
200 |
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驅(qū)動頻率 |
Max. 20 kHz （超安靜運動） |
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最大水平推力（N） |
2 |
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保持力 |
5 |
5 |
5 |
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全行程俯仰/偏擺 |
0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°） |
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水平負載 |
500g |
500g |
2000g |
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豎直負載 |
200g |
200g |
150g |
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位置傳感類型 |
- 電阻型傳感（ .R ） |
-電阻型傳感（ .R ） -光柵尺傳感（.O ） |
-電阻型傳感（ .R ） -光柵尺傳感（.O ） |
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位置傳感量程（mm） |
8 |
20 |
30 |
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位置傳感分辨率 |
- 150nm |
電阻型傳感（ .R ）， 100-200 nm - 光柵尺傳感（.O ）， 10 nm(默認); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
- 電阻型傳感（ .R ），100-200 nm - 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
13810146393
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